装置小型化定制解决方案
在像MEMS和MOEMS(微光机电系统)这样的密封设备中维持受控环境的最常见和技术上可接受的方式是使用能够化学吸收活性气体的吸气剂。满足这些要求的技术解决方案是SAES的非蒸散型吸气剂(NEG),这是一种吸收活性气体如H2O、CO、CO2、O2、N2和H2的化学泵。
Page Film可以在各种市售的盖板材料上形成不同形状的图案。PageWafer是将Page吸气剂薄膜集成到晶片到晶片键合的MEMS装置中的合适技术解决方案,用作MEMS封装的晶片盖板。在PageWafer中,吸气剂膜被选择性地放置在深度从几微米到几百微米的空腔内。SAES的专利技术可定制Page薄膜的图案,确保无松散颗粒和最佳附着力。典型图案的横向尺寸从几百微米到几毫米不等。SAE的100级洁净室提供最先进的光学和干涉仪检测系统,可以在线监测所有Page材料的制造质量标准。除了对自己的产品进行材料分析和表征外,SAES还将内部分析技能应用于客户的材料和装置,以确定放气速率和残余气体成分。配备最先进仪器的专用实验室提供残余气体分析(RGA)和放气分析服务。
Page Film 的竞争优势:
•装置使用寿命内的性能和稳定性
•降低了便携式装置的功耗
•装置的热稳定性和机械稳定性
•无颗粒
•薄膜图案几何形状的完全定制
•100级洁净间制造
•配备用于密封MEMS封装中直接测量残余气体的分析实验室(检测极限为10-6 ccmbar)
•测量和分析材料放气的能力
•支持任何密封封装设计的内部建模能力(ANSYS)
•根据ASTM F 798-97标准的吸附试验能力
•全球销售和服务网络,在世界各地提供专门的资源和专业知识,在任何产品开发和制造阶段为客户提供最佳支持。
www.saesgroup.com
SAES Getters (Nanjing) Co., Ltd.
赛斯吸气剂(南京)有限公司
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中国南京市栖霞区马群街道仙林大道18号A幢401室
Post Code: 210049
Tel: 0086-25-85802335
地点:深圳会展中心(福田)
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