广东中科半导体微纳制造技术研究院（简称“广东微纳院”）是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位。研究院聚焦MEMS智能传感、新型显示与光电探测、功率电子与5G通信等领域，瞄准芯片制造核心环节，建成了“半导体微纳加工、半导体材料外延与表征”两大概念验证和产品中试平台，拥有目前华南地区规模最大的超净实验平台，对外开展大尺寸氮化镓外延材料生长、晶圆加工、封装测试等全流程研发及中试公共服务；建设6万平方米专业化半导体产业园，打造成集研发中试、企业孵化、产业基金、人才培养为一体的半导体创新创业示范基地。