纳米加工平台拥有超净实验室10000平方米，大型设备300余台套，具备开展微机电系统、光电子器件、功率器件、微流道与生物芯片以及异质异构与超集成芯片的科学研究和产品开发能力。平台提供技术咨询、微纳加工服务和专业培训，允许用户独立操作和自主研发。同时，平台搭建和企业、高校联合攻关，集“产、学研、检”为一体的创新合作模式。平台的学科研究涵盖宽禁带半导体材料与器件、自旋电子学、二维材料、光电子器件、光子集成芯片和集成微系统工艺等领域。