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安徽华鑫微纳集成电路有限公司(以下简称“华鑫微纳”)成立于2022年3月10日,注册资本10亿元,位于蚌埠市经开区安徽省人工智能“三谷”之一的中国(蚌埠)传感谷D区,公司项目建设投资50.6亿元,用地面积约193亩,总建筑面积8.7万平方米,是国内领先的8英寸MEMS智能传感器晶圆代工企业,对外提供开放式、定制化MEMS晶圆代工服务。 华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线是一条集硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成、2.5D/3D微系统集成于一体的灵活度高、兼容性强、体系完善研产高度协同的晶圆代工平台,产品涵盖惯性传感器、压力传感器、环境传感器(气体、流量、温湿度)、光MEMS执行器、喷墨打印头等,产线规划3万片/月的8英寸MEMS晶圆制造能力。公司现有职工225名,研发人员占比超过60%,建有安徽省MEMS技术产研院、安徽省微纳机电系统(MEMS/NEMS)重点实验室等创新平台。 公司规划建设智慧能源、智慧厂务、智慧仓储、数字孪生、智慧搬运等智能化系统,是国内第一条8英寸以下装配全自动天车系统的自动化、智能化工艺线,自动化水平超过90%,基本实现无人化,旨在构筑生产加工能力强、自动化水平高、协同管理体系完善的信息化、智能化微纳制造平台。